中国制造弯道超车？新增10条！盘点50条MEMS传感器芯片产线
在过去的2022年，中国传感器产业在政策与投融资方面，迎来了极大的关注。
纳芯微、奥比中光、奥迪威、思特威、晶华微、灿瑞科技、基康仪器等多家传感器企业先后成功上市，广州、深圳、郑州、合肥等多地开工/敲定新建MEMS产线/中试线计划。
MEMS传感器将是未来智能传感器最重要的类型之一，许多传统传感器都在不断“MEMS”化。未来的趋势是，所有能用MEMS传感器替代传统传感器的地方，都将使用MEMS传感器。
没有MEMS芯片，中国传感器产业难以发展。本文整理了目前中国大陆本土MEMS传感器芯片产线信息和最新进展情况，并统计了2022年正/拟新增MEMS产线月，是目前全网最新最全的中国MEMS芯片产线信息盘点。主要有企业IDM产线、代工产线、中试线条MEMS传感器芯片产线信息。
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（2022新建）1、河南省智能传感器MEMS中试平台（中试线英寸
其中，河南省智能传感器MEMS中试平台为年度重点建设项目之一。
总建筑面积6.6万平方米，主要建设智能传感器MEMS 8 吋中试平台，围绕智能传感器的设计、制造、封测和应用等全产业链各环节布局，建设产能3000-5000片/月的8吋MEMS中试平台。
（2022新建）2、广州增芯科技（代工）-12英寸
可能是未来中国甚至全球最大的MEMS产线正式开工建设。
最新动工建设的12英寸晶圆项目。增芯科技为广州湾区智能传感器产业集团有限公司重点项目之一。
目前建设的为一期第一阶段项目，批复投资70亿元人民币，将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线上半年通线年年底满产。
此前，据《广州市2022年重点建设项目计划》显示，
将打造集研发、量产制造、封测与应用为一体的MEMS制造平台。项目一期第一阶段达产后产能2万片/月；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。广州增芯科技MEMS项目投资规模、产能均较大，
拜安半导体MEMS产线项目由拜安科技和上海嘉定综保区公司共同出资建设，
，致力于MEMS光纤传感器芯片的制造和封装测试及相关研发业务，为6英寸MEMS芯片工艺线。拜安半导体MEMS产线年全面投产
拜安科技主营产品是以光纤光栅传感、分布式光纤传感以及MEMS光纤传感为主
（在建）4、蚌埠与214所MEMS项目（代工）-8英寸
2020年12月，蚌埠与214所签约共同建设8英寸MEMS制造与微系统集成工程建设项目，建设周期为2年、总投资10亿元，建设目标是打造国内领先的8英寸MEMS智能传感器产业化平台，建成后将拥有年产5万片的MEMS晶圆制造能力和每年4亿颗MEMS芯片封测能力。
（2022拟建）5、大湾区MEMS中试线月，在深圳光明区举行的中国传感器与应用技术大会暨光明专项招商大会上，已
同时，总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地光明。
以全球MEMS产线计算，赛微电子是全球及中国最大纯MEMS代工厂
，全球MEMS芯片代工市场（不包含IDM厂商自身制造部分的统计）的占有率约为8%。赛微电子目前国内的MEMS产线英寸MEMS产线）一期建成生产
目前（2022年7月）已形成5000片/月产能，并计划在今年尽快实现一期1万片/月的产能，在2024/2025年尽快实现3万片/月的总产能。
①已运营产线-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能3万片/月(已实现5,000片/月)；青岛GaN产线-GaN外延晶圆-产能830片/月。
②交易中产线片/月。（该交易已与2022年11月被德国政府禁止，相关信息参看：《6亿收购泡汤！中国最大MEMS代工厂被德国下禁令！》）
西安励德微系统科技有限公司是一家专业提供MEMS一体化解决方案的技术创新企业。
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司(下称“中芯集成”)拥有
2018年3月由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立
中芯集成电路制造（绍兴）有限公司。
同年5月，总投资58.8亿元的中芯集成电路制造（绍兴）项目开工奠基，该项目用地207.6亩，新建14.65万平米的厂房，建设一条集成电路8寸芯片制造生产线和一条模组封装生产线。
中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风、加速度计、陀螺仪、压力、显微镜、超声波传感器、射频器件。
中芯集成一期规划10万片8英寸晶圆月产能。于2020年1月正式投产，5年内持续投资近60亿人民币建设达产，形成芯片年出货51万片和模组年出货19.95亿颗的产业规模，规模化量产麦克风、惯性、射频、MOSFET以及IGBT等产品的芯片和模组，
2020年第四季度一期产能扩产至每月4万片晶圆，近期其成功完成晶圆设备链调试，8英寸晶圆月产能增至7万片
2021年度中芯集成一期产能利用率已达93%，于今年（2022年）6月30日递交科创板IPO申请，拟募资达125亿元，目前已过会。“二期晶圆制造项目”拟使用募集资金投入 66.60 亿元，将建成一条月产 7 万片的硅基 8 英寸晶圆加工生产线 英寸 MEMS 和功率器件的代工产能。相关详情请参看《刚刚！中国大陆最大MEMS代工厂IPO过会！募资125亿创纪录！》内容。
芯恩（青岛）集成电路有限公司坐落于青岛市西海岸新区，是中国首个协同式集成电路制造(CIDM)项目。芯恩实现高端数模混合以及特殊工艺的8英寸以及12英寸芯片、国内先进光掩膜版等集成电路产品的量产，结合国内外知名芯片设计、制造、封测等企业落户，打造成与国外先进IDM同等规模的国内先进的垂直整合芯片厂。芯恩（青岛）特色工艺芯片包括MEMS芯片等。
山东昊润自动化技术有限公司从事硅压阻、硅电容OEM传感器，通用型、智能型及行业专用型自动化测控仪表的设计研发和规模化制造。
北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司是目前国内第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的高科技企业。公司以北京大学微电子学研究院和微米/纳米加工技术国家级重点实验室为技术依托，专门从事各种微型传感器的研发和生产。目前，青鸟元芯拥有4 英寸/6 英寸MEMS 中试线，传感器年产能达千万规模。已经批量生产系列化微型湿度传感器及模块、MEMS压力传感器芯片、MEMS压力传感器、加速度传感器及相关传感器模块和解决方案。
拥有国内第一条MEMS磁传感器芯片生产线。
东方微磁的MEMS生产线年底全部调通，是国内首条可满足工业化生产的磁芯片生产线片/月，每年至少可生产月2亿颗芯片，共有溅射镀膜、光刻、线所 （IDM&代工）-4英寸
中国电科49所是我国军工集团唯一专门从事电子敏感技术研究、敏感元器件与传感器研发的专业研究所，国内最大的传感器产业研究开发基地之一。建有4英寸MEMS微加工工艺线，自主研制出压力、加速度、流量、湿度、气体等MEMS敏感芯片，批量生产SOIMEMS压力传感器、薄膜铂热敏电阻器、高分子湿敏电容、可燃气体传感器等产品。
江苏（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS软件巨头美国Intellisense的中国战略研发机构，在江苏南京建有MEMS传感器芯片工艺线
16、浙江芯动科技（代工）-6英寸
，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程，生产压力、加速度计、陀螺仪，光镜和生物医学等MEMS传感器芯片产品。
是中国最先进的MEMS器件加工平台之一，具备芯片制造、封装测试等一系列的能力。
17、美新半导体（IDM）-8英寸
美新半导体在无锡建有8英寸MEMS磁、惯性传感器晶圆生产、封测产线日，据《绍兴日报》报道，总投资约3.5亿元，建筑面积约5.27万平方米的绍兴集成电路设计产业园（西园）项目计划2023年6月竣工。位于园区内的
等产品，其自主研发的氮化硅薄膜窗口产品成功打破海外垄断，液体流量传感器、贴片式胰岛素泵芯片也是国内同类产品首创。
19、华润微电子（IDM&代工）-6&8英寸
，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸
20、上海先进半导体（代工）-5、6、8英寸
上海先进半导体前身是1988年中荷合资的上海飞利浦半导体公司，经过多次改制后，2019年被上海积塔半导体吸收合并
先进半导体由传统模拟芯片代工厂转型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圆生产线，MEMS生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺 仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RFMEMS、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子、医疗电子以及汽车电子等领域。
华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司合并而成，自建设中国大陆第一条8英寸（200mm）集成电路生产线起步，华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。
8英寸制造平台上，华虹实现MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容。已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。
22、海康微影 （IDM）-8英寸
西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。
西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资，2021年3月获B轮融资，发展迅速，西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。西人马是中国MEMS十强企业之一。
奥松电子成立于2003年，专注于MEMS半导体工艺技术，是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业
2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。
奥松电子MEMS半导体生产线纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。根据规划，2021年二期工程建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，
2021年8月，奥松电子官网宣布对外开放MEMS芯片代工业务，包括设备共享、技术支持、企业孵化等服务。
2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司，将在
。该项目建成后，将成为国内先进的MEMS芯片及智能传感器产业集群，提高MEMS芯片的代工和量产能力。
26、罕王微电子（IDM）-8英寸
2018年建成国内首条8英寸纯MEMS规模化量产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程，
。生产传感器包括：陀螺仪、IMU惯性测量单元、射频RF-MEMS及加速度、温度、湿度、压力、应力传感器等。
27、美泰科技（IDM）-6英寸
中国电子科技集团第十三研究所全资子公司
，提供完整的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开发及晶圆制造服务（包括设计、制造和测试），年产10亿个TMR磁传感器。
2021年5月多维科技获4亿元融资，将用于对现有产线进行升级，能够进一步强化“自研、自产、技术领先”的核心竞争力。
2019年8月该生产线实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺利完工投产，用地面积35亩，建设总用地面积2万多平米，传感器芯片年生产能力可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。
据二期项目正在进行，预计完工后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。
拥有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 生产线，是目前国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线 从低到高各类面阵规格产品型号批产能力。
（在建）31、锐石创芯（IDM）
锐石创芯是一家专注于高性能的4G/5G射频前端产品的研发及销售的公司，主要应用于智能手机、物联网终端、平板电脑。
锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目位于重庆，总占地面积120亩，总投资22亿。其中一期投资约8亿元，
，建筑面积共2.65万平方米，目前主体建筑已封顶，
杭州士兰微1997年成立，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。
自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在
，初步走通了系列传感器的IDM发展之路，已申请相关发明专利百余项。
MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。
德尔森集团是一家中德合作的高新技术企业，集团总部与产品设计中心位于德国法兰克福和中国南京。德尔森与南京市共同建立江苏MEMS智能传感器研究院，投资1.04亿元建有
睿创微纳总部位于山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设计与制造的企业。
睿创微纳的8英寸MEMS晶圆生产线由公司与代工厂共建，已量产，
研究中心建有4英寸中试线，主要用于MEMS传感器研发生产使用。
（苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科技平台项目。
39、诺思微系统（IDM）-6英寸
诺思微系统位于天津，是一家无线设备射频前端MEMS滤波芯片服务商，其产品主要采用薄膜体声波谐振器(FBAR)技术以及硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等提供解决方案。
诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。
2021年3月，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。
2021年8月完成4亿元融资，预计在一年内全面加速产能释放，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模。
40、武汉衍熙微器件（IDM）-8英寸
武汉衍熙微器件拥有全国第一条8寸体声波（BAW）量产线
2018年，武汉衍熙微器件进行项目扩建，一期为租赁现有厂房5600平方米，建设3600平方米的无尘室车间；二期计划建设约10000平方米的无尘室车间，用于扩大生产。
41、苏州固锝（IDM）-8英寸
苏州固锝成立于1990年，是国内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM业务。
明锐光电主要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技术及八英寸晶圆级封装技术及产线年成立明皜传感，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开发、设计。2021年8月，明皜传感获小米投资，注册资本由 6443.64 万元人民币增加至 7085.19 万元人民币，增幅为 9.96%。
42、西北工业大学宁波研究院（研发平台）-8英寸
西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心依托西北工业大学微机电系统及纳米技术双一流学科、极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）宁波基地、空天微纳系统教育部重点实验室宁波基地等优势平台，建有国际先进、国内一流的硅基MEMS核心工艺加工服务平台，团队实力雄厚，
具有MEMS器件结构设计、批量化代工、性能测试等研发加工能力。
西北工业大学宁波研究院MEMS加工平台位于宁波市国家高新区智造港A区，拥有世界顶级SPTS深硅刻蚀机、SUSS MA/BA8 Gen4光刻机、SUSS XB8键合机、全自动涂胶显影机、原子层沉积设备、两台电子束蒸镀设备（金/银/铝等金属、SiO2/Al2O3等介质）、两台激光隐切设备（硅/玻璃）、湿法腐蚀与清洗系统、椭偏仪、台阶仪等MEMS工艺专业设备，
设备兼容8/6/4/2英寸晶圆加工，面向全国提供MEMS芯片结构设计、镀膜、光刻、刻蚀、划片、封测、应用开发等全方位技术服务。
43、苏州纳米技术与纳米仿生研究所（中试线）
该产线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。
国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台
已建成国家级微电子机械系统(MEMS)国家地方联合工程实验室和6英寸MEMS智能传感器研制生产工艺线，具有设计、制造、封装、筛选测试及应用的全产业链研制生产能力，拥有丰富的完全自主知识产权的MEMS技术，核心发明专利300余项，产品覆盖高端惯性传感器、压力传感器、光MEMS传感器、流量传感器以及气体传感器等，是国内MEMS龙头企业和工信部传感器“一条龙”示范企业。
其8英寸MEMS中试线%；针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产品。
47、中科院电子学研究所（研发平台）
现已并入中国科学院空天信息创新研究院
整个平台拥有100多台套先进的大中型设备，总价值达1.1亿元，可以完成从微芯片制造、芯片封装、器件测试、微系统集成等成套工艺，为微系统研究提供有力的技术保障。
49、上海微技术工研院（中试线年，上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式投入运营，月产量将达到3000件。
今年6月，上海微技术工研院宣布将8英寸线每年四分之一的总机时资助给上海大学，用于微电子学院教学实践，为期5年。
2016年由中科院微电子所设立的MEMS研发平台，
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