【功率器件】总投资20亿元MEMS产业总部项目签约落户武汉
在主会场，武汉临空港经开区副区长肖国华代表武汉临空港经开区与清华大学精密仪器系智能微系统团队、武汉光谷信息光电子创新中心有限公司、武汉光迅科技股份有限公司牵手，签署智能微机电系统（MEMS）产业总部项目投资协议
据武汉临空港经开区网站指出，国家创新中心微机电系统（MEMS）产业总部项目由中信科集团和清华大学合作，总投资约20亿元人民币，建设微机电系统MEMS芯片设计流片封装测试一体化产业平台，包括设计仿真平台、微纳制造平台、集成测试平台和应用示范中心，主要用于MEMS芯片、MEMS光器件、MEMS传感器件等技术平台的搭建。
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